机译:用氩气等离子清洗从银(Ag)纳米棒基质上去除表面污染和自组装单层膜(SAMs)
机译:等离子体清洗EUV光刻中的多层反射镜,以清除无定形碳污染
机译:使用射频Ar / H2等离子体增强去除X射线引起的碳污染的能力
机译:使用低功率下游等离子清洁技术去除EUV镜的表面污染
机译:使用碳酸氨溶液去除颗粒并减少特征损伤,从而增强了超音速清洁过程。
机译:用于去除表面污染的微生物清洁
机译:等离子体增强化学气相沉积室清洁等离子体的电气优化
机译:低功率霍尔推进器下游的等离子特性(pOsTpRINT)