机译：在等离子体增强化学气相沉积室内用CF_3I气体对SiO_2进行等离子刻蚀
机译：等离子增强化学气相沉积电介质中的水分扩散，在无尘室条件下采用三种技术进行表征
机译：通过湿法制绒，基于臭氧的清洁和等离子增强化学气相沉积工艺改善了高效硅异质结太阳能电池的表面钝化
机译：高密度等离子体化学气相沉积磷硅酸盐玻璃工艺的机理，玻璃工艺不含原位等离子体室清洁
机译：晶格匹配的III-V / IV组半导体异质结构：金属有机化学气相沉积和远程等离子体增强化学气相沉积。
机译：准平衡等离子体增强化学气相沉积产生的超清洁石墨烯量子点的拉曼增强
机译：二氧化硅的等离子体增强化学气相沉积：通过等离子体表征优化介电膜
