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机译:极紫外频率梳的计量
Kandula D. Z.; Gohle Ch.; Pinkert T. J.; Morgenweg J.; Barmes I.; Ubachs W.; Eikema K. S. E.;
机译:极紫外梳梳测量
机译:高阶谐波发生源相干极紫外散射显微镜的研制,用于极紫外掩模的检测和计量
机译:极端紫外线频率梳,超过100μW的平均功率低于100nm
机译:PHz频率下的频率梳计量:极紫外光下的精度
机译:极紫外频率梳,可用于精确测量和强场物理。
机译:使用量子干扰稳定锁模激光器的频率梳对碘稳定的He-Ne激光器的光频率计量
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机译:用于极紫外光刻的13nm光学计量
机译:使用极紫外曝光掩模坯料的图案转印方法,极紫外曝光掩模,制造方法以及用于极紫外辐射曝光掩模的极紫外辐射曝光掩模
机译:用于极端紫外线照射的面膜空白,用于极端紫外线照射的面膜,用于极端紫外线照射的面膜的制造方法以及使用用于极端紫外线照射的面膜的图案转移方法
机译:极紫外光源中的目标轨迹计量
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