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【24h】

Iron (Fe) removal from cyclohexanone thinner used in lithography process using nylon 6,6 membrane filtration

机译:使用尼龙6,6膜过滤从光刻工艺中使用的环己酮稀释剂中去除铁(Fe)

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摘要

• Iron (Fe) contamination in cyclohexanone can be reduced using nylon 6,6 filtration, likely driven by removal of complexed Fe ions. • Reduction of metal contamination from commercial, electronics-grade cyclohexanone using nylon 6,6 filtration was confirmed, and a very high purity of cyclohexanone achieved. • Applying nylon 6,6 filtration for cyclohexanone, both in chemical manufacturing and device manufacturing processes at point-of-use should contribute to improved device quality and yield.
机译:•使用尼龙6,6过滤可以减少环己酮中的铁(Fe)污染,这很可能是由于去除了复杂的铁离子而引起的。 •确认使用尼龙6,6过滤可减少来自商业电子级环己酮的金属污染,并获得了非常高纯度的环己酮。 •在使用点的化学制造和设备制造过程中,将尼龙6,6过滤用于环己酮,应有助于提高设备质量和良率。

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