粒子の帯電量計測システムの開発　その2　計測システムの構成と基礎実験

摘要

DMA内の粒子の移動度を可視化することで粒子の粒径と帯電量を計測するシステムを考案した。本報では、計測システムの基本原理と粒子の移動度計測に関する基礎実験の結果を示した。実験では、AMで中和し、DMAで分級することで得た粒径が既知の粒子を用いて、帯電量が既知の条件と未知の条件で計測システムの性能を検証し、実験値と理論値は概ね一致した。また、実験結果に基づいて開発した機能一体型の計測システムの構成を紹介した。今後は一体型計測システムによってクリーンルーム内を浮遊する粒子の帯電量をデータベース化し、パーティクル汚染対策や挙動シミュレーションに活用していく予定である。