XY table; contour error; cross-coupled controle; direct drive; position error compensateg;
机译:串级P / PI,NPID和NCasFF控制器对XY工作台滚珠丝杠驱动系统精确定位的跟踪性能评估
机译:基于Dahl模型的磁致伸缩补偿和XY并联微操纵器的精确定位控制
机译:基于Dahl模型的压电并联XY微型操纵器的磁滞补偿和精确定位控制
机译:基于位置补偿的直驱XY工作台交叉耦合控制
机译:转矩反馈和饱和度补偿,用于使用谐波驱动的间接驱动单元的运动控制。
机译:基于驱动模式振动特性控制的MEMS陀螺仪温度补偿
机译:用于精确定位XY工作台滚珠丝杠驱动系统的级联P / PI,NPID和NCasFF控制器的跟踪性能评估