2D array; CMUT; rowcolumn; transducer; wafer bonding;
机译:玻璃基板上的行柱(RC)寻址的2-D电容微机械超声换能器(CMUT)阵列
机译:晶圆键合2D CMUT阵列,结合了晶圆穿透沟槽隔离互连和支撑框架
机译:行列寻址二维换能器阵列中的声串扰,用于超声成像
机译:2-D CMUT晶圆键合成像阵列,具有行列寻址方案
机译:基于BCB膜片的粘附性晶圆键合CMUT探针,用于生物医学应用。
机译:二维换能器分行列寻址阵列的设计与分析
机译:具有集成切趾的行列寻址2-D CmUT阵列
机译:一些2-D(二维)WsI(晶圆尺度积分)阵列架构