nanometrology; coordinate measurement; AFM; controller setting; dml;
机译:纳米尺度计量光学坐标测量机
机译:使用坐标测量技术检查车削后的圆柱表面特征
机译:坐标计量学中基于特征的测量误差分析
机译:大型纳米级坐标计量中的开发特征
机译:使用坐标计量学测量圆锥形特征的尺寸。
机译:将坐标测量机的误差补偿集成到特征测量中:第一部分—模型开发
机译:坐标计量中复合特征的几何评估(第1报告)
机译:计算机辅助检查过程定义:开发用于坐标计量的专家规划和编程系统。总结报告