scatterometry; anisotropy; semiconductor; silicon; trench measurements; FDTD method;
机译:旋转交错网格法对GPR的3D FDTD各向异性和色散建模
机译:任意全电磁各向异性麦克斯韦方程组的稳定3D FDTD方法
机译:任意全电磁性各向异性麦克斯韦方程式稳定的3D FDTD方法
机译:使用FDTD方法和时间缩短计算方法通过散射法对半导体电路进行3D隔离和周期性沟槽测量的仿真
机译:改进电磁问题的时差有限差分(FDTD)模拟的方法
机译:介电常数对贵金属/半导体SERS增强的影响:Ag / Ge和Ag / Si衬底的FDTD模拟和实验验证
机译:任意全电磁性各向异性麦克斯韦方程式稳定的3D FDTD方法