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【24h】

Characterisation of a Gasonics A1000 Microwave Photoresist Ashing System using the CHARM-2 Plasma Charging Monitor

机译：使用CHARM-2等离子充电监测仪表征Gasonics A1000微波光致抗蚀剂灰化系统

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《Next Generation Internet Networks, 2005 》|2005年|p.98-101|共4页
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Cowley A.;
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中图分类自动化技术、计算机技术 ;
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