机译:多晶硅薄膜晶体管的等离子增强化学气相沉积法沉积纯氢化非晶硅
机译:用于制造低温多晶硅的非晶硅薄膜的低成本脱氢系统
机译:金属诱导的横向结晶过程中镍源对低温多晶硅TFT的几何效应
机译:低温多晶硅TFT的无定形硅的氢等离子体增强结晶
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:用于多晶硅太阳能电池制造的硅诱导无定形硅和晶体性能的铝诱导结晶的研究