首页> 外文会议>International Conference on Optical Fabrication and Testing >Quantitative surface evaluation using a synchronous Nomarski microscope
【24h】

Quantitative surface evaluation using a synchronous Nomarski microscope

机译:使用同步Nomarski显微镜定量表面评估

获取原文

摘要

A simple zonal approach is proposed for estimating phase distribution on large grids. The estimation is based on phase differences that are precisely measured in two orthogonal directions by a lateral shearing interferometer. It requires only O(N$+2$/) operations for reconstructing a phase distribution on a N by N grid. Computer simulation and experimental results are demonstrated to show effectiveness of the new algorithm.
机译:提出了一种简单的区域方法,用于估计大网格上的相位分布。估计基于通过横向剪切干涉仪在两个正交方向上精确测量的相位差。它只需要O(n $ + 2 $ /)操作来重建N个网格上的一个相位分布。计算机仿真和实验结果被证明显示了新算法的有效性。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号