random size; single size; high NA; off-axis illumination; SRAFs; model-based OPC;
机译:使用电阻回流工艺的32 nm节点随机接触孔阵列的临界尺寸控制
机译:EUV阴影效应对OPC和SRAF的影响
机译:随机粗糙表面之间的接触中接触斑的大小分布和自亲和极限
机译:具有SRAf的节点随机尺寸接触孔的基于模型的OPC
机译:一种新的节点到节点方法来解决二维弹性固体受到有限变形的接触/碰撞问题。
机译:冈比亚按蚊蚊子通过模拟床网中的孔通过的视频研究:孔大小孔方向和网环境的影响
机译:新合成的β-肾上腺素能阻滞剂,OPC 1085和SQ 11725的比较,用血液灌注犬SA节点和乳头状肌制剂中的脱脂醇和普萘洛尔