机译:等离子体化学气相沉积和原子层沉积相结合沉积的掺Ge Sb-Te薄膜的生长和相分离行为
机译:使用原子层沉积沉积的氧化锌作为保护性界面层的高效氢化非晶硅薄膜太阳能电池
机译:使用原子层沉积沉积的氧化锌作为保护性界面层的高效氢化非晶硅薄膜太阳能电池
机译:等离子体增强原子层沉积(PEALD)沉积的非晶态铝薄膜的拉伸行为
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:带有原子层沉积ZnO电荷陷阱层的非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储器的电压极性相关编程行为
机译:具有原子层沉积的ZnO电荷俘获层的无定形IN-ZN-O薄膜晶体管存储器的电压极性依赖性编程行为
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。