EUVL; Mask Inspection; Defect Sensitivity; Tone Reversal; Focus Optimization; Polarization Optimization;
机译:宽吻海豚对10 kHz音的听觉掩蔽,带有环境噪声,共调制噪声和高斯噪声(Tursiops truncatus)
机译:使用音调反转工艺的20纳米间距点阵图案的纳米压印光刻
机译:非单调向后掩蔽功能和亮度反转
机译:在19x NM面膜检查期间最小化“音调逆转”
机译:EUV掩模技术的主要挑战:光化掩模检测和掩模3D效果。
机译:抑制在心理物理音调掩蔽中的作用
机译:EUV掩模空白的Sub 20粒子检查