Force; Propulsion; Force measurement; Vacuum systems; Micromechanical devices; Valves; Springs;
机译:新型推力架的开发和测试,用于在真空条件下进行微推力测量
机译:基于石英晶体振荡器的MEMS真空封装的真空度测量
机译:具有XeF_2干蚀刻工艺的基于CMOS-MEMS的宽测量压力范围集成热电真空计
机译:真空条件下基于MEMS的冷气体微推进器的微推力测量
机译:基于MEMS谐振器的真空测量系统的接口电路设计
机译:使用简单的基于气囊的系统测量不同环境氧气条件下的捕食和生物膜形成
机译:真空条件下KSLV-1冷气推进器的推力测量