Monolithic 3D (M3D) Complementary Metal-Oxide-Semiconductor (CMOS)-Nanoelectromechanical (NEM) Hybrid Circuits

机译：单片3D（M3D）互补金属氧化物半导体（CMOS）-纳米机电（NEM）混合电路

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Monolithic three-dimensional (M3D) complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) and nanoelectromechanical (NEM) hybrid circuits are discussed in terms of performance, energy consumption and chip density.

机译：从性能，能耗和芯片密度方面讨论了单片三维（M3D）互补金属氧化物半导体（CMOS）和纳米机电（NEM）混合电路。

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来源
《IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference》|2018年|125-127|共3页
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作者
Woo Young Choi;
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正文语种
中图分类
关键词
Nanoelectromechanical systems; Optical switches; Switching circuits; Field programmable gate arrays; Inverters; MOSFET;

机译：纳米机电系统;光开关;开关电路;现场可编程门阵列;逆变器; MOSFET;

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