Bosch process; Electrostatic actuator; Nanoelectromechanical switches; Reactive ion etching (DRIE);
机译:使用坚固的单晶硅致动器的静电驱动低压微机械RF开关
机译:用于低压低功耗模拟电路设计的批量驱动浮栅和批量驱动准浮栅技术
机译:低压,双栅有机晶体管,具有高灵敏度和稳定性静电生物沉积
机译:低压静电驱动纳米机电开关
机译:使用主体驱动和浮栅技术的低压CMOS模拟集成电路的分析和设计。
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:用于声学换能器应用的驻极电压低压MEMS静电外致动器