Electro-thermal actuation; glass-silicon-glass bonded; large flow application; microvalve;
机译:Bucky凝胶在低流量快速调节微阀制造中的应用
机译:碳化硅基板的设计和制造用于空间应用的电力装置
机译:高压下水和有机流体的微流路径:集成聚合物微阀元件的制造和表征
机译:用于大型流动应用的硅微控制的设计和制造
机译:具有压电单压电晶片隔膜和无源微型阀的多级微型气体压缩机的设计,建模,制造和测试,用于微冷却应用。
机译:用于中红外应用的微米级薄膜硅固体浸没透镜的设计与制造
机译:用mEms技术设计和制造微流量控制气体