EUV; multi-layer mirror; carbon contamination; theoretical model; precision mechanical design;
机译:Euv暴露和碳污染导致入射入射Euv镜的反射率降低
机译:等离子体清洗EUV光刻中的多层反射镜,以清除无定形碳污染
机译:镜子在空间中的污染I:镜子建模
机译:建立理论模型和实验设备研究欧盟多层镜碳污染的研究
机译:气体污染对其设备影响的实验研究。
机译:在单次损伤阈值以下的长期自由电子激光照射下EUV镜辐射损伤抵抗性的实验研究
机译:在单次损伤阈值下方长期自由电子激光曝光下EUV镜辐射损伤抗性的实验研究