Annealing; Distancemeasurement; Films; Iterativeclosestpointalgorithm; Photovoltaiccells; Silicon; ICP; PECVD; amorphoussilicon; heterojunction; silicon; solarcells; suboxide;
机译:工业电感耦合等离子体沉积氢化本征非晶硅氧化物可实现出色的硅表面钝化
机译:通过工业电感耦合等离子体沉积的氢化内在非晶硅硅基氧化硅基实现优异的硅表面钝化
机译:通过远程感应耦合等离子体处理的非晶/晶体硅异质结太阳能电池
机译:电感耦合等离子体沉积非晶硅合金,使用工业设备进行异质结硅太阳能电池
机译:通过化学退火制造高质量,低带隙的非晶硅和非晶硅锗合金太阳能电池。
机译:感应耦合等离子体沉积在室内照明中实现高转化效率的低温生长氢化非晶碳化硅太阳能电池
机译:等离子体引发的非晶硅再氢化以增加硅异质结太阳能电池的温度处理窗口
机译:非晶硅和硅/锗太阳能电池等离子体生产中涉及的沉积和轰击物种的测量。 2002年6月1日至2005年5月31日的年度技术报告