Coherence Scanning Interferometry; Scanning White Light Interferometry; thin film; buried surface; refractive index; extinction coefficient; Spectroscopic Ellipsometry;
机译:相干扫描干涉法表征薄膜
机译:相干扫描干涉法测量薄膜界面粗糙度的测量
机译:相干扫描干涉法在基于模型的透明表面膜分析中的应用
机译:相干扫描干涉法在薄膜计量学中的发展
机译:使用波长扫描干涉仪的绝对距离(厚度)度量衡。
机译:基于相干信封检测的垂直扫描干涉测量中表面重建算法性能分析
机译:相干扫描干涉法测量薄膜界面粗糙度