220 GHz membrane supported folded slot antenna array

机译：220 GHz膜支撑折叠式缝隙天线阵列

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This paper presents the design, electromagnetic modeling, fabrication and characterization of a Folded Slot Antenna Array (FSAA) working at 220 GHz. The structure was processed on a 2.1 μm thick SiO2/Si3N4 dielectric membrane released through deep reactive ion etching (DRIE) of low-resistivity (p = 10 Ω ·cm) silicon. The antenna was characterized on wafer, showing good agreement with simulated results. The measured calibrated gain is 5.5 dB at 220 GHz, and is greater than 0 dB between 200–250 GHz.

机译：本文介绍了工作在220 GHz频率的折叠式缝隙天线阵列（FSAA）的设计，电磁建模，制造和表征。该结构在2.1μm厚的SiO2 / Si3N4介电膜上进行处理，该介电膜通过低电阻率（p = 10Ω·cm）硅的深反应离子刻蚀（DRIE）释放。在晶片上对天线进行了表征，与仿真结果显示出良好的一致性。在220 GHz处测得的校准增益为5.5 dB，在200–250 GHz之间大于0 dB。

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来源
《International Semiconductor Conference》|2013年|93-96|共4页
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作者
Bunea Alina-Cristina; Avram Andrei; Obreja Cosmin; Neculoiu Dan;
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