Etch yield; Genetic algorithm; Plasma etching; Surface evolution algorithm;
机译:ICP Cl_2 / Ar / N_2等离子体混合物对InP刻蚀的建模:N_2对刻蚀各向异性演化的影响
机译:使用神经网络通过在CHF_3 / CF_4等离子体中进行蚀刻来模拟蚀刻速率和氧化物均匀性
机译:高密度等离子体反应离子刻蚀CoFeB薄膜的刻蚀轮廓演变
机译:等离子体蚀刻中基于优化的离子蚀刻产量建模方法
机译:等离子体蚀刻中离子能量分布函数和蚀刻轮廓的建模和仿真
机译:微波辅助碳浴法及随后的等离子刻蚀法将FeCo合金原位固定在掺氮碳上的有效氧还原反应性能
机译:使用聚焦离子束的表面波纹和离子蚀刻产量:有或没有增强化学,纵横比调节离子蚀刻
机译:等离子体和离子蚀刻用于失效分析。第2部分。使用Technics Giga Etch 100-E等离子蚀刻系统对塑料封装和其他半导体器件材料进行蚀刻