机译:集成微等离子体反应器的微悬臂探针的无掩模扫描等离子体刻蚀设计与制造
机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiN x薄膜的制备
机译:通过无掩模ECR辅助微波等离子体刻蚀制备高纵横比金刚石纳米针阵列
机译:用于无掩模纳米级材料蚀刻的微药物反应器阵列的制造和操作
机译:纳米结构作为掺杂剂来源:使用形状和尺寸控制的纳米材料硅的无掩模纳米级图案化
机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiNx薄膜的制备
机译:用于无掩模纳米级蚀刻的微介质阻挡放电反应器siNx薄膜的制备
机译:微等离子体通道和大阵列:光学医学,微型激光器和片上反应器的应用