Post-etch residue removal; UV treatment; fluorocarbon polymer; sidewall analysis; AR-XPS; 2.0 low-k dielectrics;
机译:UV诱导的氟碳聚合物改性:处理气氛和老化对有机溶剂溶解的影响
机译:下游等离子体处理对碳氟聚合物在有机溶剂中溶解的影响
机译:氧气气氛下紫外线辐照改性氟碳聚合物的机理
机译:紫外诱导的氟碳聚合物改性:治疗气氛和老化对有机溶剂溶解的影响
机译:紫外线诱导的接枝聚合反应对聚对苯二甲酸乙二酯薄膜的表面改性
机译:通过溶剂蒸汽预处理对共轭聚合物进行可控的自组装,以用于有机场效应晶体管
机译:甲基叔丁基醚与氟碳化合物用于胆固醇胆结石溶解的溶剂混合物。