UV-induced modification of fluorocarbon polymer: Effect of treatment atmosphere and aging on dissolution in organic solvent

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• 来源
  《Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena》 |2013年第null期|共4页
• 作者

  Le Q.T.; Kesters E.; Conard T.; Struyf H.; de Gendt S.;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 半导体物理学;
• 关键词

  2.0 low-k dielectrics; AR-XPS; Fluorocarbon polymer; Post-etch residue removal; Sidewall analysis; UV treatment;

  机译：2.0低k电介质;AR-XPS;碳氟聚合物;蚀刻后残留去除;侧壁分析;紫外线处理;