Low Temperature Co-fired Ceramic (LTCC); Micro Cooling; Pirani Gauge; System-in-Package (SiP); Vacuum Measurement; Vacuum Packaging;
机译:微型皮拉尼真空计,用于超小型真空包装的真空测量
机译:使用玻璃上硅和溶解晶圆工艺的Pirani真空计用于MEMS真空包装的表征
机译:LTCC基板中使用高性能散热孔的微通道冷却系统的多目标设计优化
机译:具有嵌入式冷却微通道和皮拉尼真空计的LTCC微系统真空封装基板
机译:使用LTCC进行IC冷却的微喷射阵列封装的开发和制造。
机译:使用嵌入式应变计的固化过程中环氧树脂的应变响应
机译:基于高敏感的小型覆盖物VOX基微量Pirani计,用于原位监测真空晶圆级包装钻孔仪
机译:用于监测低真空的Bakable玻璃皮拉尼量规