机译:六甲基二硅氮烷热线化学气相沉积法制备氢化非晶硅碳氮化物膜
机译:高氢含量氮化硅的热线化学气相沉积,用于太阳能电池钝化和减反射涂层应用
机译:等离子增强化学气相沉积氮化硅在多晶硅太阳能电池中的应用性能
机译:用于多晶硅太阳能电池的氮化硅氮化硅的热线化学气相沉积
机译:通过热线化学气相沉积制备的低温薄膜硅太阳能电池
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:热线化学气相沉积制备的微晶硅的沉积:沉积参数对材料性能和太阳能电池性能的影响