capacitive displacement sensor; comb-finger capacitance; microelectromechanical systems (MEMS); nano-positioning stage;
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机译:基于集成电容式压力传感器的新型用于重载应用的触觉传感器系统
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机译:一种新型电容传感器在精确定位系统中的应用
机译:开发精确的GPS / INS /车载车辆传感器集成式车辆定位系统。
机译:光谱仪应用中可靠的3D和喷墨打印电容式位置传感器的特性
机译:基于面积变化的电容式传感器技术可精确检测位置