A Novel Method for Fabricating 2-D Array Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for Medical Imaging

机译：一种用于医学成像的二维阵列压电微机械超声换能器的制造新方法

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Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) is a new approach for the construction of 2-D arrays for real-time 3-D medical imaging. In this work, 6×6 pMUT arrays with element pitch down to 150μm were successfully fabricated and characterized. The devices consist of 2μm PZT film on a 3μm Si/SiO2 supporting layer, and the multilayered membrane was released by a two-step process to ensure high elements density. The resonance frequency and dielectric properties were also investigated and the results show its potential for the application in 3-D imaging probes.

机译：压电微机械超声换能器（pMUT）是一种用于构建二维3-D阵列以进行实时3-D医学成像的新方法。在这项工作中，成功制造并表征了元件间距低至150μm的6×6 pMUT阵列。该器件由位于3μmSi / SiO2支撑层上的2μmPZT膜组成，并通过两步过程释放多层膜以确保高元素密度。还研究了共振频率和介电性能，结果表明了其在3D成像探头中的应用潜力。

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来源
《18th IEEE International Symposium on the Applications of Ferroelectrics (ISAF 2009)》|2009年|p.358-361|共4页
会议地点
作者
Di Fu; Tian-Ling Ren; Hao Chen; Yi Yang; Xiang-Ming Kong; Yuan Ren; W-J Liao; Li-Tian Liu;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TM221;
关键词
piezoelectric micromachined ultrasonic transducer; ferroelectric thin film, PZT; medical imaging;

机译：压电微机械超声换能器;铁电薄膜; PZT;医学成像;

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