reactive ion beam etching; multilayer diffraction grating; on-line measurement;
机译:标量衍射范围内的有限光栅在厄米-高斯光束衍射中的新特性:当光束中心移过光栅时,远场中的恒定强度角
机译:标量衍射范围内的有限光栅在厄米-高斯光束衍射中的新特性:当光束中心移过光栅时,远场中的恒定强度角
机译:由高斯激光束加热的衍射光栅的热弹性变形产生的反射光束和衍射光束的波前畸变
机译:通过射频离子束源的大孔径多层衍射光栅的反应离子束蚀刻
机译:使用可编程液晶空间光调制器和q板从偏振衍射光栅创建矢量束。
机译:方位角修正的线性相位光栅:产生不同衍射级的变化的径向地毯光束并在所产生的光束之间控制强度共享
机译:通过离子束蚀刻制造高效,大的孔径传动衍射光栅
机译:用于反应离子束蚀刻的射频离子源。阶段1