single neuron adaptive control; wafer stage; lithography; linear motor; preview feed forward compensation;
机译:无颤动自适应滑模控制的压电纳米定位平台的精确运动控制
机译:具有馈电补偿器的自适应滑模控制,用于馈电系统的节能和高速精度运动
机译:具有齿槽力补偿的高速工业龙门架的自适应鲁棒精密运动控制
机译:单神经元自适应控制在一维高速,高精度复合运动中的应用
机译:基于观测器的自适应鲁棒控制,应用于线性电机驱动的高速机电系统的协调精度控制。
机译:指定用于低速船舶运动操纵的多维控制器的有效性
机译:单神经元自适应pID控制的采煤机切割电机恒功率调速