interferometer; wavelength-tuning; phase-shifting algorithm;
机译:利用波长调谐菲索干涉仪测量透明板表面形状的误差补偿相移算法
机译:移相干涉仪不受倾斜相移误差影响的算法
机译:用波长调谐的Fizeau干涉仪同时测量光平的表面形状和厚度,抑制漂移误差
机译:500毫米 - 孔径波长调谐相移干涉仪
机译:偏振相移点衍射干涉仪。
机译:用相移楔形反向剪切干涉仪完整表征超短光脉冲
机译:通过使用新的相移算法和波长调谐干涉仪精确测量硅晶片的表面形状
机译:自参考干涉仪波前传感器(后印刷)的相移技术评估