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Multimode planar lightwave circuits using direct write of polymers

机译:使用聚合物直接写入的多模平面光波电路

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摘要

The performance of a novel acylate-based thermally stable photo-polymer is presented. rapid direct writing of the guides and other strctures is realised using a high-power 325 nm He:Cd laser. The loss is measured by cut-back to be less than 0.17 dB/cm at 850 nm and less than 0.5 dB/cm at 1310nm. This material and writing system is used to make 50 mu m square core cladded guides and compliant bumps for device attachment, and 45 deg TIR mirrors for out of plane coupling.
机译:介绍了一种新型的基于酰化物的热稳定光敏聚合物的性能。使用高功率的325 nm He:Cd激光器可以快速直接书写指南和其他结构。通过切回测量损耗,在850nm处小于0.17dB / cm,而在1310nm处小于0.5dB / cm。这种材料和书写系统用于制造50微米见方的覆芯导轨和用于设备连接的顺应性凸块,以及用于平面外耦合的45度TIR反射镜。

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