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Increasing the optical coupling efficiency of planar photodetectors: electron beam writing of an integrated microlens array on top of a MSM device

机译：提高平面光电探测器的光耦合效率：在MSM器件顶部将集成微透镜阵列的电子束写入

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In this paper we describe the fabrication of an array of integrated cylindrical microlenses on top of a single GaAs MSM photodetector. Ex;perimental data shows an increase of about 65

机译：在本文中，我们描述了在单个GaAs MSM光电探测器顶部制造集成圆柱微透镜阵列的过程。例如;实验数据显示增加了约65

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来源
《Conference on optics in computing》|2000年|p.890-894|共5页
会议地点
作者
A.C.Seabra; F.G.Areas; M.A.Romero; L.G.Neto; B.Nabet;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
关键词
Optoelectronic detectors; MSM devices; optical coupling;

机译：光电探测器MSM设备;光耦合;

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