Device Project and FEA Simulation of a Gas Sensor Array

机译：燃气传感器阵列的设备项目和FEA仿真

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This paper deals with the project and the ANSYS thermal simulations of a structure suitable to be used in a gas sensor array. It has been studied three different devices and chosen the best solution to obtain an efficient micro-hotplate.

机译：本文涉及该项目和ANSYS热模拟适合用于气体传感器阵列的结构。已经研究了三种不同的设备，并选择了最佳解决方案以获得有效的微观格栅。

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来源
《Italian conference on sensors and microsystems》|1997年||共5页
会议地点
作者
S.Crescentini; V.Foglietti; S.Petrocco; A.DAmico;
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中图分类 TM555;
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