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Application of novel nozzle-scan costing technique to ferroelectric film fabrication

机译：新型喷嘴扫描成本技术在铁电薄膜制备中的应用

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来源
《》|2000年|P.399-402|共4页
会议地点
作者
Okuwada; K.; Ito; S.; Kitano; T.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术 ;
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