MOSFET; leakage currents; silicon; elemental semiconductors; nickel alloys; tantalum alloys; thermally robust; Ta doped Ni salicide process; CMOSFETs; NiTa alloy; nickel silicide compounds; sheet resistance; junction leakage current; PMOS drive current;
机译:用于65 nm节点CMOSFET的Ni硅化多晶硅/多晶硅层栅极技术
机译:采用65 nm CMOS技术的坚固耐用的Ni-FUSI工艺
机译:用于Ni硅化物工艺的Ni沉积之前进行原位表面处理
机译:热鲁棒的TA掺杂Ni Salicide工艺对于Sub-50nm CMOSFET有前途
机译:热喷涂碳化钨-镍(WC-Ni)MMC涂层的搅拌摩擦加工(FSP)。
机译:热稳定的非润湿Ni-PTFE电沉积纳米复合材料
机译:虚拟栅极结构可在不使用额外的硅化物阻挡掩模的情况下提高全硅化130纳米CmOs技术的EsD稳健性