ホログラフィックダイバーシティ干渉法における位置ずれ誤差の低減に向けた仮想シフト手法の基礎実験

摘要

ホログラフィックダイバーシティ干渉法(HDI)を用いた位相計測において，2つの撮像素子で計測される2つのホログラムの位置ずれは計測精度の低下を引き起こす.この問題点に対し，我々はHDIの調整誤差を補償できる手法として仮想シフト手法を提案する.提案手法では，撮像素子で取得されたホログラムのうちどちらか一方の空間位置を仮想的に移動させることで位置ずれによる計測誤差を低減する.本稿では，実験により提案手法の基本動作を確認する.%In phase measurement using Holographic Diversity Interferometry (HDI), misalignment of two holograms captured by two image sensors cause the deterioration of the measuring accuracy. In order to solve this problem, we propose the virtual shifting method for compensating the alignment error of HDI. The proposed method can reduce the measuring error of HDI by virtually shifting the spatial position of either of holograms captured by two image sensors. In this paper, we confirmed the basic operation of the proposed method by an experiment.