integrated optics; waveguide; silion oxynitride; PECVD; multimode interference; optical splitter;
机译:在平板-阵列界面使用肋波导多模干涉耦合器的百吉赫兹间隔硅阵列波导光栅
机译:使用多模干涉耦合器的频谱响应平坦的基于二氧化硅的阵列波导光栅
机译:基于梯形截面硅肋波导的绝缘体上多模干扰3 dB耦合器
机译:基于二氧化硅的肋波导,用于使用多模干扰的集成光学
机译:用于硅CMOS电路的垂直多模干涉光波导分接头。
机译:埋肋式SiO2多模干涉波导用于光流多路复用
机译:具有锥形接入波导的电光聚合物的多模干涉波导开关