Department of Mechanical Engineering National Taiwan University of Science and Technology No. 43, Keelung Road, Sec. 4, Taipei, Taiwan, 106;
in-situ optical reflection and transmission measurement; excimer laser crystallization; explosive crystallization; crystallization mechanism;
机译:使用实时光学诊断测量监测短脉冲持续时间XeF准分子激光退火过程中非晶硅薄膜的爆炸结晶现象
机译:利用原位瞬态反射率测量,准分子激光诱导非晶硅薄膜结晶过程中观察到的硅膜厚度和衬底温度对熔化时间的影响
机译:准分子激光退火过程中硅薄膜的原位快速温度测量
机译:与非晶硅薄膜XEF准分子激光相互作用期间的纳秒时间分辨率原位光反射和传输测量
机译:非晶硅薄膜的准分子激光结晶
机译:通过辉光放电光谱研究掺杂元素来表征非晶硅薄膜。电导率和带隙能量测量的相关性
机译:高分辨率透射电子显微镜和飞行时间弹性反冲检测分析非晶态纳米晶硅薄膜