高効率動作化に向けた半導体薄膜レーザの導波路損失低減

摘要

近年、LSI 配線層上部のグローバル配線における信号遅延や発熱の増加に対する解決策の一つとしてオンチップ光配線の実現が期待されており、低消費電力かつ高効率の光源が要求されている。我々は半導体薄膜DFB・DRレーザを提案・実現したが、高効率動作が大きな課題となっている[1, 2]。そこで、その要因と考えられる高い導波路損失αWG = 42 cm-1[3]について検討を行い、αWG = 31 cm~(-1) まで低減した[4]。今回、さらなる導波路損失低減を行い、αWG = 22 cm~(-1) が得られたのでご報告する。