雑音低減デジタル技術を適用した低雑音低電力MEMS型加速度センサ

摘要

次世代の資源探査やインフラモニタリングなどを可能にする、超低ノイズ(22ng/√Hz)かつ低電力(17mW)のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサを開発した。独自のMEMS構造や、ノィズ生成過程への深い洞察に基づくデジタル領域でのノィズ低減回路などを適用することで、従来の低電力低ノィズのMEMS加速度センサと比較して、11倍優れたFoMと1/9のノイズレベルを達成した。本発表ではさらに、本センサにより可能になるアプリケーションとして、上水道の漏水検知の事例を説明する。