流体自動搬送機能を持つ高周波可変キャパシタの開発

摘要

本研究では、純水の自動搬送機能を持つ可変キャパシタrnの実現を目標として、TEGデバイスを試作してその評価を 行った。rn作製した自動搬送機能を持つ可変キャパシタは、EWOD を用いた液滴搬送デバイスを搭載した上部基板と、IDCを もちいた可変キャパシタを搭載した下部基板とから構成さ れている。櫛歯電極構造を持つ平面IDCを用いることによ つて、液滴を搬送する空間ギャップを広く （0.5 mm)設計 することができた。これは、液滴の駆動電圧の低減に役立 ち、今回、3.36 |iLの水滴を-30 VのDC電圧と30 Vop (140 Hz)のAC電圧を印加することによって双方向に駆動できrnた。