スプレーコーティングによるPVDF 高分子圧電薄膜の成膜および特性評価とコイルばねへの適用

摘要

圧電材料はアクチュエータやセンサなどに幅広く使用さrnれている。しかし、代表的な圧電材料であるチタン酸ジルコrnン酸鉛（PZT）は高い圧電性を有する一方、セラミック材料rnであるために硬くて脆い。また、鉛を含んでいることも問題rnとなる。そこで、我々は圧電性高分子材料であるポリフッ化rnビニリデン（PVDF）に着目してきた。PVDF は大変形にもrn耐えることができ、有機溶媒に溶解可能であるためにrnMEMS プロセスとの整合性も高く、マイクロマシン技術をrn利用した薄膜成膜技術を適用することができる。