圧縮空気を利用したMEMSマイクロホンの機械的強度評価

摘要

MEMSマイクロホンの機械的強度の評価する手法とし て、顕微鏡観察下にて圧縮空気を高速で薄膜に印加しその 破壊圧力からデバイスの強度を定量化する方法を構築し た。等価回路によるシミュレーシヨンによって圧縮空気が メンブレンに与える圧力を明らかにし、サンプル形態を変 えることによってダイァフラム、バックプレートの強度を それぞれ評価できることを報告した。