【24h】

InGaAsP/InP opto-electronic devices fabricated from MOVPE wafers

机译:由MOVPE晶圆制造的InGaAsP / InP光电器件

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摘要

Atmospheric MOVPE has been developed to produce a range ofnInP/GaInAsP device structures uniformly over 2" InP wafers. State of artnFabry-Perot (Ith 6mA) and DFB lasers (linewidth 3 MHz),nELEDs, and planar detectors (Id as low as 8 pA at -5V) arenreported, together with reliability data
机译:大气MOVPE已经开发出来,可以在2英寸InP晶片上均匀地生产出一系列nInP / GaInAsP器件结构。先进的法布里-珀罗(Ithsub> 6mA)和DFB激光器(线宽3 MHz),nELED和未报告平面检测器(-5V时I d 低至8 pA)以及可靠性数据

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