Institut fuer Technische Optik, Univ. Stuttgart, Pfaffenwaldring 9, 70569 Stuttgart, Germany;
fringe projection; depth-scanning; confocal microscopy; white light interferometry;
机译:对准和覆盖计量误差的解耦,以及使用机器学习方法的覆盖优化的层到层覆盖计量误差
机译:演示非光学调节的攻丝模式近场扫描光学显微镜在纳米光学计量学和半导体光学表征中的应用
机译:纳米级计量:散射场光学成像可实现10 nm以下的计量
机译:深度扫描光学计量的新方法
机译:梯度折射率材料的光学相干断层扫描计量和自由形态光学表面
机译:光学计量学对聚(34-乙撑二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸盐)配方的光学性能的了解
机译:NGST OTA光学计量仪器和概念方法
机译:NGsT OTa光学计量仪器和概念方法