Institute of Electronics, National Academy of Sciences of Belarus 22 Logoiskii trakt -220090 MINSK, Belarus;
MOEMS; electrostatic; optic; micro-switching devices;
机译:基于运动控制技术的三维微机电系统光开关模块的高速光束对准
机译:一种新型的基于被动挠曲的微机电系统光开关组件设计
机译:微机电致动器驱动的亚微米硅波导光开关
机译:商业化的基于微机电系统(MEMS)的快速扫描光声显微镜系统,具有可切换的光学和声学分辨率
机译:用于生物医学成像和光纤开关的光学微机电系统开发。
机译:通过直接写入铜线产生的垂直电容性微机电开关
机译:在微机电系统阵列中使用基于频率的寻址的光开关